四探针电阻测定仪硅片电阻率测量的国际标准（ASTM F84）.GB/T 1551-2009 《硅单晶电阻率测定方法》. GB/T 1551-1995《硅、锗单晶电阻率测定直流两探针法》GB/T 1552-1995《硅、锗单晶电阻率测定直流四探针法》.

方阻计 四探针测试仪适用范围： 四探针法测试的 导电性新材料、铝箔、铜箔等具有类似性质要求测量的材料.

四探针低电阻率测试仪比较-电流计——计算电阻或电导的*百分比误差是指Rs,电流计偏移或放大器读数的百分比误差总和,同时假设电流灵敏度与偏移无关。对于新式电流计(直流电流放大器可能发生1/3刻度偏移),后者的假设精度到±2%有用范围之内(在1/10满刻度偏移之上)。Rs的误差取决于采用的电阻器类型,但是1MΩ电阻的误差极限低至0.1%是适用的。对于满刻度偏移,采用灵敏度为10nA的电流计或直流电流放

薄膜四探针电阻率测试仪仪器由主机、测试台、四探针探头、计算机等部分组成，测量数据既可由主机直接显示，亦可由计算机控制测试采集测试数据到计算机中加以分析，然后以表格，图形方式统计分析显示测试结果。 仪器采用了电子技术进行设计、装配。具有功能选择直观、测量取数快、精度高、测量范围宽、稳定性好、结构紧凑、易操作等特点。

双电测数字式四探针测试仪数控恒流源 (1)量程：0.1μA，1μA，10μA，100µA，1mA，10mA，100mA，1A (2)误差：±0.1%读数±2 字