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四探针电阻测试仪其保养是尤为重要的

点击次数:48 发布时间:2025-10-22
  四探针电阻测试仪是一种用于测量物质电阻率、电阻及方块电阻的专业设备,广泛应用于半导体材料、薄层材料检测以及化工、建材等行业。它基于四探针接触法设计,通过外侧两探针施加稳定电流,内侧两探针测量电势差,实现电流-电压分离测量,有效消除接触电阻和引线电阻的干扰,确保测量结果的高精度。
  该仪器适配多种样品形态,包括块状、棒状及薄膜材料,测量范围覆盖电阻率10⁻⁴~10⁵Ω·cm,标准不确定度≤2%。其硬件配置先进,采用液晶显示屏与自动温度补偿系统,二代机型配备自动传感测试架,减少探针与样品接触损伤。内置计算机可自动调整系数,通过接口实现数据存储与导出,提升操作便捷性。
  四探针电阻测试仪的保养方法:
  一、日常保养(每次使用前后)
  清洁探针
  目的:去除探针尖d的氧化物、油污、灰尘或残留样品,防止接触不良和测量误差。
  方法:
  使用无水乙醇(分析纯)或异丙醇浸湿无尘布或棉签,轻轻擦拭四个探针的尖d。
  对于顽固污染物,可使用极细的研磨纸(如金相砂纸,粒度≥1000#)极其轻微地打磨探针尖d,然后用酒精彻d清洁。(此操作需谨慎,避免改变探针形状或间距)
  严禁使用硬物刮擦或腐蚀性溶剂。
  清洁样品台
  用干净的无尘布或蘸有无水乙醇的棉签擦拭样品台表面,确保无灰尘、油渍或导电残留物,避免影响测量或造成短路。
  检查探针状态
  目视检查四个探针是否笔直、无弯曲、无断裂。
  确认探针尖d锐利但不过分锋利(避免划伤样品),无严重磨损或变形。
  检查探针间距是否一致(可用放大镜观察)。
  检查加载机构
  手动升降探针数次,感受是否有卡顿或松动。
  确保恒力弹簧或压力调节装置工作正常,探针能平稳下落并保持稳定接触压力。
  二、定期保养(每周/每月)
  深度清洁
  断开电源,用压缩空气(低气压)吹扫探针支架、样品台及周围区域,清除积聚的细小颗粒。
  检查并清洁探针与线缆的连接点,确保接触良好。
  校准验证
  使用标准样片(已知电阻率或方块电阻的标准硅片或薄膜电阻片)进行测量。
  将测量结果与标准值对比,评估仪器的准确性和重复性。
  如果偏差超出允许范围(如±5%),需要进行校准或维修。
  检查线缆与接口
  检查所有连接线缆(探针线、电源线)是否有破损、挤压或接触不良。
  确保各接口(如USB、RS232)清洁、牢固。
  三、长期/专业保养(每季度/半年/年度)
  探针更换
  当探针出现严重磨损、弯曲、断裂或无法通过清洁恢复性能时,必须更换。
  务必使用原厂或规格完q匹配的探针,确保材质、直径、长度和间距一致。
  更换后需重新进行校准验证。
  机械结构维护
  对升降导轨、轴承等运动部件进行润滑(使用专用精密仪器润滑油,避免过量)。
  检查并紧固所有螺丝和固定件,防止松动影响探针垂直度。
  电气系统检查
  由专业技术人员检查恒流源的稳定性、电压表的精度以及内部电路板状态。
  必要时进行专业校准(traceable calibration),确保符合计量标准。
  软件与固件更新
  检查制造商是否有发布新的控制软件或固件更新,以提升性能或修复已知问题。
  四、通用注意事项与存放
  轻拿轻放:避免剧烈震动或撞击,尤其是探针部分非常脆弱。
  环境要求:
  存放和使用环境应干燥、清洁、无腐蚀性气体。
  避免阳光直射和温度剧烈变化。
  理想温湿度:室温(20-25°C),相对湿度<60%。
  防尘保护:
  不使用时,用防尘罩覆盖仪器,或存放在专用仪器柜中。
  可在仪器内放置干燥剂,防潮。
  正确操作:
  测量时确保样品表面平整、清洁、干燥。
  探针应垂直下落,避免侧向受力。
  避免在通电状态下插拔探针线缆。
  记录保养日志:
  建立设备保养档案,记录每次清洁、校准、更换部件的日期和内容。
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