导电四探针方阻电阻测试仪

导电四探针方阻电阻测试仪根据不同材料特性需要，探头可有多款选配。有高耐磨碳化钨探针探头，以测试硅类半导体、金属、导电塑料类等硬质材料的电阻率/方阻；也有球形镀金铜合金探针探头，可测柔性材料导电薄膜、金属涂层或薄膜、陶瓷或玻璃等基底上导电膜（ITO膜）或纳米涂层等半导体材料的电阻率/方阻。换上四端子测试夹具，还可对电阻器体电阻、金属导体的低、中值电阻以及开关类接触电阻进行测量。配专用探头，也可测试电池极片等箔上涂层电阻率方阻。

导电四探针方阻电阻测试仪运用四探针测量原理测试电阻率/方阻的多用途综合测量仪器。该仪器设计符合GB/T 1551-2009 《硅单晶电阻率测定方法》、GB/T 1552-1995《硅、锗单晶电阻率测定直流四探针法》并参考美国 A.S.T.M 标准。

覆盖膜;导电高分子膜，高、低温电热膜;隔热、导电窗膜 导电(屏蔽)布、装饰膜、装饰纸;金属化标签、合金类箔膜;熔炼、烧结、溅射、涂覆、涂布层，电阻式、电容式触屏薄膜;电极涂料，其他半导体材料、薄膜材料方阻测试

硅晶块、晶片电阻率及扩散层、外延层、ITO导电箔膜、导电橡胶等材料方块电阻  半导体材料/晶圆、太阳能电池、电子元器件，导电薄膜（ITO导电膜玻璃等），金属膜，导电漆膜，蒸发铝膜，PCB铜箔膜，EMI涂层等物质的薄层电阻与电阻率  导电性油漆，导电性糊状物，导电性塑料，导电性橡胶，导电性薄膜，金属薄膜， EMI 防护材料，导电性纤维，导电性陶瓷等，提供中文或英文两种语言操作界面选择

注意事项：

　　1、仪器操作前请您仔细阅读使用说明书，规范操作

　　2、轻拿轻放，避免仪器震动，水平放置，垂直测量

　　3、仪器不使用时请切断电源，连接线无需经常拔下，避免灰尘进入航空插引起短接等现象

　　4、探针笔测试结束，套好护套，避免人为断针

　　本仪器适用于半导体材料厂、半导体器件厂、科研单位、高等院校对半导体材料的电阻性能测试。

1. 便于查看的显示/直观的操作性：高亮度、超清晰4.3寸彩色LCD显示；操作易学，直观使用；

2. 基本设置操作简单，方阻、电阻、电阻率、电导率和分选结果；多种参数同时显示。

3. 精度高：电阻基本准确度： 0.05％；方阻基本准确度：3%；电阻率基本准确度：3%

4. 整机测量最大相对误差：≤±3%；整机测量标准不确定度：≤±3%

5. 四位半显示读数；八量程自动或手动测试；

6. 测量范围宽： 电阻：10-4Ω～105Ω ；方阻：10-4Ω/□～105Ω/□；

7. 正反向电流源修正测量电阻误差

8. 恒流源：电流量程分为： 1uA、10uA、100uA、1mA、10mA 、100mA六档；仪器配有恒流源开关可有效保护被测件，即先让探针头压触在被测材料上，后开恒流源开关，避免接触瞬间打火。为了提高工作效率，如探针带电压触单晶对材料及测量并无影响时，恒流源开关可一直处于开的状态。

9. 可配合多种探头进行测试；也可配合多种测试台进行测试。

10. 校正功能：可手动或自动选择测试量程 全量程自动清零。

11. 厚度可预设，自动修正样品的电阻率,无需查表即可计算出电阻率。

12. 自动进行电流换向,并进行正反向电流下的电阻率(或方块电阻)测量,显示平均值.测薄片时,可自动进行厚度修正。

13. 双电测测试模式，测量精度高、稳定性好.

14. 具备温度补偿功能，修正被测材料温漂带来的测试结果偏差。

15. 比较器判断灯直接显示，勿需查看屏幕，作业效率得以提高。

3档分选功能：超上限，合格，超下限，可对被测件进行HI/LOW判断，可直接在LCD使用标志显示；也可通过USB接口、RS232接口输出更为详细的分选结果。

16. 测试模式：可连接电脑测试、也可不连接电脑单机测试。

17. 丰富的接口，Handler接口、RS232接口、USB HOST、USB DEVICE。实现远程控制。U盘可记录测试数据

18. 软件功能（选配）：软件可记录、保存、各点的测试数据；可供用户对数据进行各种数据分

析。

标配：测试平台一套、主机一套、电源线数据线一套。