四探针电阻率检测仪

四探针电阻率检测仪步骤及流程

1. 开启电源，预热5分钟.

2. 装配好探头和测试平台.

3. 设定所需参数.

4. 测量样品

5. 导出数据.

 优点描述：

1. 自动量程

2. 双电组合测试方法

3. 标准电阻校准仪器

4. PC软件运行

5. 同时显示电阻、电阻率、电导率数据.

6. 可显示5位有效数字.

7. 中、英文界面

四探针电阻率检测仪适用范围：

1.覆盖膜;导电高分子膜，高、低温电热膜;隔热、导电窗膜 导电(屏蔽)布、装饰膜、装饰纸;金属化标签、合金类箔膜;熔炼、烧结、溅射、涂覆、涂布层，电阻式、电容式触屏薄膜;电极涂料，其他半导体材料、薄膜材料方阻测试

2.硅晶块、晶片电阻率及扩散层、外延层、ITO导电箔膜、导电橡胶等材料方块电阻  半导体材料/晶圆、太阳能电池、电子元器件，导电薄膜（ITO导电膜玻璃等），金属膜，导电漆膜，蒸发铝膜，PCB铜箔膜，

3.EMI涂层等物质的薄层电阻与电阻率  导电性油漆，导电性糊状物，导电性塑料，导电性橡胶，导电性薄膜，金属薄膜，

4.抗静电材料， EMI 防护材料，导电性纤维，导电性陶瓷等

参照标准：

1.硅片电阻率测量的标准（ASTM F84）.

2.GB/T 1551-2009 《硅单晶电阻率测定方法》.

3.GB/T 1551-1995《硅、锗单晶电阻率测定直流两探针法》.

4.GB/T 1552-1995《硅、锗单晶电阻率测定直流四探针法》

一般目前的四探针电阻率（电导率）测试仪均已配置厚度的修正，通过厚度数值的设置，计算出不同的样品厚度对电阻率的影响。数字式四探针测试仪是运用四探针测量原理的多用途综合测量装置，zui常用的是直线型四探针。四根探针的针尖在同一直线上，并且间距相等，都是S，一般采用0.5mm的间距，不同的探针间距需要对测量结果做相应的校正。可以测量片状、块状半导体材料的电阻率，扩散层的薄层电阻（亦称方块电阻）。也可测柔性导电薄膜和玻璃等硬基底上导电膜的方块电阻（简称方阻），换上四端子测试夹具，还可对电阻器体电阻、金属导体的低、中值电阻以及开关类接触电阻进行测量。

仪器所有参数设定、功能转换全部采用数字化键盘输入；具有零位、满度自校功能；自动转换量程；测试探头采用宝石导向轴套和高耐磨碳化钨探针制成，故定位准确、游移率小、寿命长；测试结果由数字表头直接显示。在计算机控制下进行两次电测量，能自动消除样品几何尺寸、边界效应以及探针不等距和机械游移等因素对测量结果的影响。因而每次测量不必知道探针间距、样品尺寸及探针在样品表面上的位置。由于每次测量都是对几何因素的影响进行动态的自动修正，测试程序控制四探针测试仪进行测量并采集测试数据，把采集到的数据在计算机中加以分析，然后把测试数据以表格，图形直观地记录、显示出来。

 产品特点：

四探针：一次测量，显示完整电阻率值。

采用了*的恒流源技术，能够满足宽范围的电阻率测试要求

电阻率测量：大屏幕清晰显示硅料电阻率值，方便检料工快速分选

电流测量：本仪器采用*芯片技术，可通过调节硅材料厚度，仪器可直接锁定电流，使测量使用更加简便准确，本仪器可根据需要配备测试平台， 利用测试平台可以测试薄片电阻率

 注意事项：

1、仪器不使用时请切断电源，连接线无需经常拔下，避免灰尘进入航空插引起短接等现象，

2、探针笔测试结束，套好护套，避免人为断针

3、仪器操作前请您仔细阅读使用说明书，规范操作

4、轻拿轻放，避免仪器震动，水平放置，垂直测量