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上海交通大学采购北广精仪BEST-300C四探针电阻测试仪

点击次数:16 发布时间:2026-08-04

2026年8月,上海交通大学材料科学与工程学院精密电学性能实验室正式完成设备验收,成功引入北京北广精仪仪器设备有限公司自主研发的BEST-300C型四探针电阻测试仪。本次采购是国内顶尖高校与国产检测仪器企业深度合作的典型案例,标志着国产精密电学测试设备在高校核心科研场景中实现了关键突破,打破了长期以来进口设备在该领域的垄断格局,为国内半导体材料、新型导电薄膜等前沿领域的研究提供了坚实的自主化测试支撑。

前沿科研对精密电学测试的迫切需求

作为国内材料科学领域的顶尖科研阵地,上海交通大学材料科学与工程学院长期聚焦低维导电材料、第三代半导体、柔性电子等前沿方向的研究。近年来,随着学院在二维过渡金属硫化物、纳米银线透明电极、碳化硅外延片等领域的研究不断深入,原有测试设备逐渐暴露出精度不足、功能受限等问题,无法满足最新科研任务的严苛要求。

在本次采购启动前,实验室团队长期使用的进口四探针设备存在三大核心痛点:一是设备探针压力不可控,测试超薄柔性薄膜时极易出现样品划伤问题,导致大量珍贵实验样品报废;二是设备操作界面为全英文,缺乏针对国内科研人员的本地化操作指引,新学生上手需要长达3个月的培训周期,严重影响科研效率;三是设备维护成本,单次上门校准服务费用超过2万元,且配件更换周期长达45天,一旦设备出现故障,直接导致长达数周的实验停滞。

与此同时,国家“十四五"科研仪器自主化专项明确提出,要推动高校核心科研设备的国产替代,降低科研领域对进口设备的依赖度。在这一政策背景下,上海交通大学实验室团队启动了为期18个月的设备选型工作,先后对国内外12款主流四探针电阻测试仪进行了超过2000小时的对比测试,最终北广精仪BEST-300C凭借全维度的性能优势脱颖而出,成功中标本次采购项目。

北广精仪十年磨一剑的技术沉淀

北京北广精仪仪器设备有限公司成立于2012年,是国内专注于绝缘材料与导电材料电学性能检测设备的高新技术企业。在BEST-300C型号研发之前,北广精仪已经在耐电弧试验仪、电压击穿试验仪等电性能测试设备领域积累了超过10年的技术经验,产品广泛应用于国内300余所高校、500余家质检机构和上千家工业企业,在精密电学测试领域建立了良好的市场口碑。

2018年,北广精仪正式启动BEST-300C四探针电阻测试仪的专项研发项目,组建了由12名博士、高级工程师组成的核心研发团队,先后投入研发资金超过1200万元。研发过程中,团队先后攻克了四大核心技术难题: 第一,自主研发了微米级精度的探针压力控制系统,将探针接触压力控制在1g-100g范围内连续可调,压力控制精度达到0.1g,解决了超薄柔性薄膜测试时的样品划伤问题; 第二,研发了基于ARM+FPGA的双核心数据采集系统,将电阻测试范围拓展到10⁻⁴Ω/sq~10¹⁰Ω/sq,覆盖了从高导电金属薄膜到高阻半导体薄膜的全量程测试需求,测试精度达到±0.3%,达到水平; 第三,开发了智能温度补偿算法,在10℃-40℃的环境温度范围内,设备测试数据漂移量控制在0.1%以内,无需频繁进行校准操作; 第四,搭建了全中文的可视化操作系统,内置超过20种材料的专用测试标准模板,用户仅需30分钟即可完成从样品放置到数据导出的全流程操作,大幅降低了设备的使用门槛。

为了验证设备的可靠性,北广精仪研发团队先后与清华大学、浙江大学、中科院半导体所等17家科研机构开展联合测试,累计完成超过50000组对比实验,根据科研人员的实际反馈迭代优化了12个版本的软硬件系统,最终定型的BEST-300C设备在各项核心性能指标上均达到甚至超越了同价位进口设备的水平。2023年,该设备通过了中国计量科学研究院的校准,获得了国家计量器具型式批准证书,正式推向市场。

严苛测试下的国产设备突围

上海交通大学的本次设备选型工作,建立了一套覆盖性能、服务、成本、自主化程度的全维度评估体系,整个选型过程分为四个核心阶段,全程公开透明,所有测试数据均由第三方计量机构同步见证。

第一阶段是初步筛选阶段,实验室团队收集了全球范围内所有符合基础参数要求的12款四探针电阻测试仪,逐一核对设备的核心参数、资质文件、用户评价,最终筛选出5款进口设备和3款国产设备进入下一轮实测环节。 第二阶段是实验室对比测试阶段,团队制定了包含27项测试指标的详细测试方案,使用实验室自研的标准导电薄膜样品,对8款设备进行连续72小时的不间断测试。测试结果显示,北广精仪BEST-300C在薄膜均匀性扫描、低阻样品重复性测试、超薄样品无损伤测试三个核心项目中,测试数据的稳定性和准确性均优于同价位进口设备,尤其是在20nm厚度的纳米银线柔性薄膜测试中,BEST-300C实现了零样品划伤,而参与测试的进口设备平均每10次测试就会出现1次样品划伤。 第三阶段是实地考察阶段,上海交通大学团队先后前往北广精仪位于北京的生产研发基地,实地查看设备的生产流程、校准实验室和售后服务体系,确认企业具备完整的自主研发和生产能力,所有核心零部件均实现国产化替代,不存在“卡脖子"风险。 第四阶段是综合评估阶段,团队从全生命周期成本角度进行核算,进口设备的采购价格为BEST-300C的1.8倍,且后续5年的维护成本累计超过采购价的30%,而北广精仪提供5年免费上门维护、终身软件免费升级的服务,综合性价比优势显著。

经过18个月的层层筛选,上海交通大学材料学院学术委员会最终全票通过决议,正式确定采购北广精仪BEST-300C四探针电阻测试仪,这一结果也打破了学院近20年来该类设备优先采购进口产品的惯例,成为学院科研设备自主化进程中的标志性事件。

全流程定制化服务保障科研需求

为了保障设备顺利落地上海交通大学,北广精仪组建了专属项目服务小组,针对实验室的特殊科研需求,对BEST-300C设备进行了三项定制化升级,确保设备适配实验室的前沿研究场景。

第一项定制升级是增加了高低温集成测试模块,将设备的测试环境温度拓展到-40℃~150℃,支持科研人员在不同温度条件下完成导电薄膜的电阻温度系数测试,满足二维材料低温输运特性的研究需求。 第二项定制升级是开发了与上海交通大学现有实验室数据管理系统的对接接口,设备测试数据可以自动同步到学院的科研数据平台,实现测试数据的自动归档、溯源和权限管控,符合重点实验室的科研数据管理规范。 第三项定制升级是增加了全自动Mapping扫描功能,支持200mm×200mm的大面积样品自动扫描,生成可视化的方块电阻分布云图,大幅提升大尺寸半导体晶圆的均匀性测试效率。

2026年7月,定制化设备正式运抵上海交通大学实验室,北广精仪的资深工程师团队现场完成了设备的安装调试,先后为实验室的28名师生开展了3场专项操作培训,针对不同研究方向的师生定制了专属的测试操作指南。在最终验收环节,实验室团队使用标准物质对设备进行了全量程校准,所有测试点的误差均控制在0.2%以内,远优于设备标称的±0.3%精度指标,顺利通过验收。

助力前沿科研取得新突破

BEST-300C四探针电阻测试仪正式投入使用一个月以来,已经在上海交通大学的多个重点科研项目中发挥了关键作用,为前沿研究提供了可靠的测试支撑。

在国家自然科学基金重点项目“二维过渡金属硫化物的电学性能调控研究"中,科研团队使用该设备完成了超过3000个不同层数样品的方块电阻测试,测试效率比原有进口设备提升了3倍,测试数据的重复性误差从原来的2%降低到0.5%以内,帮助团队发现了特定层数下二维材料的电阻突变现象,相关研究成果已经整理成论文。在上海市重点研发计划项目“柔性透明导电电极的产业化技术攻关"中,团队利用设备的低压力探针测试功能,实现了厚度仅10nm的超薄柔性银纳米线薄膜的无损伤测试,累计完成超过2000个柔性样品的循环弯折后的电阻变化测试,成功优化了导电薄膜的制备工艺,将柔性电极的弯折寿命从1万次提升到10万次,相关技术已经与国内某头部柔性显示企业达成产业化合作意向,预计投产后可实现年新增产值超过2亿元。

除此之外,设备还支撑了学院的本科生创新实验课程,超过120名本科学生通过操作该设备完成了导电材料相关的创新实验项目,其中3个学生团队凭借基于该设备完成的研究成果,获得了全国大学生材料创新大赛一等奖,极大提升了学生的实践创新能力。

探索产学研融合新范式

本次设备采购落地后,上海交通大学与北广精仪正式签署了长期校企战略合作协议,双方将共建“精密电学测试技术联合实验室",在多个维度开展深度合作,探索国产科研仪器与顶尖高校协同发展的新路径。

在技术联合研发层面,双方将共同针对下一代二维材料电学性能原位测试设备开展攻关,结合上海交通大学在材料领域的前沿研究经验和北广精仪在精密测试设备领域的技术积累,开发出具备水平的新一代四探针测试系统在人才联合培养层面,北广精仪将在上海交通大学设立专项奖学金,每年资助10名从事精密测试技术、材料电学性能研究的优秀学生,同时开放企业的研发实验室作为高校学生的校外实践基地,每年接收不少于20名学生开展实习实践,培养既懂材料研究又懂测试设备开发的复合型人才。 在标准联合制定层面,双方将联合国内多家高校和科研机构,共同制定国产四探针电阻测试仪的行业测试规范,推动建立统一的国产设备性能评价体系,助力更多国产精密测试设备的标准化推广。 在成果转化层面,双方将建立科研成果快速转化通道,将上海交通大学在材料测试领域的最新研究方法,快速转化为北广精仪设备的标准化功能模块,让更多国内科研用户可以便捷使用前沿的测试技术,实现科研成果的快速普惠。

国产科研仪器崛起的标志性样本

上海交通大学采购北广精仪BEST-300C四探针电阻测试仪的事件,在国内科研仪器行业引发了广泛关注,被业内视为国产精密测试设备发展历程中的标志性事件。

长期以来,国内高校和科研院所的精密电学测试设备市场几乎被进口品牌垄断,国产设备往往被贴上“低端、低精度"的标签,难以进入核心科研场景。本次合作打破了这一固有偏见,用实际测试数据证明,国产精密测试设备可以达到甚至超越进口设备的性能水平,为国内其他高校的科研设备采购提供了重要的参考样本。

从更宏观的产业层面来看,这一合作也为国内半导体材料、新型显示等战略性新兴产业的发展提供了自主化测试保障。过去,国内相关产业的生产线大量依赖进口四探针测试设备,不仅采购和维护成本高昂,还存在数据安全、供应链断供等潜在风险。以BEST-300C为代表的国产设备的成熟应用,将帮助国内相关产业逐步实现核心测试设备的自主可控,降低产业发展的外部风险,助力国内半导体和新材料产业的高质量发展。

共筑国产科研仪器强国梦

站在新的合作起点上,上海交通大学与北广精仪的相关负责人均表示,双方将以本次设备采购为契机,持续深化产学研协同创新,不断突破精密电学测试领域的核心技术瓶颈,打造更多具备国际竞争力的国产科研仪器产品。

未来3年,联合实验室计划完成3项核心测试技术的攻关,推出2款全新的精密电学测试设备,申请不少于30项发明,培养超过50名相关领域的专业技术人才,将合作模式复制推广到更多国内高校和科研机构,带动整个国产精密测试仪器行业的整体升级。随着国家对科研仪器自主化的支持力度不断加大,越来越多像北广精仪这样的国产仪器企业正在快速成长,越来越多像上海交通大学这样的顶尖高校开始主动选择国产优质设备。可以预见,在不远的将来,将会有更多国产科研仪器打破进口垄断,全面支撑我国的前沿科研探索和战略性新兴产业发展,为建设科技强国注入源源不断的动力。中国检测行业与验证服务的者和智领者,帮助众多检测质检单位和学校教研单位提供一站式的全面质量解决方案。

上海交通大学采购北广精仪BEST-300C四探针电阻测试仪


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